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徹底瘋狂!臺(tái)積電首次自曝3nm工藝

  科客點(diǎn)評(píng):到了3nm這個(gè)地步,估計(jì)良品率是一大難關(guān)。

徹底瘋狂!臺(tái)積電首次自曝3nm工藝

  天字一號(hào)代工廠臺(tái)積電這幾年在新工藝方面極為激進(jìn),正在大規(guī)模量產(chǎn)10nm、加速推進(jìn)7/5nm,現(xiàn)在還首次曝光了全新的3nm,已經(jīng)接近半導(dǎo)體工藝的物理極限。臺(tái)積電的大本營(yíng)一直在臺(tái)灣:10nm位于中科廠Fab 15五到六期;7nm位于七到九期,2018年量產(chǎn);5nm則位于南科廠Fab 14九期,2019年下半年量產(chǎn)。

  不過(guò)到了3nm,臺(tái)積電正考慮赴美投資建廠,投資額高達(dá)5000億臺(tái)幣,主要原因是南科方面從提出投資方案到通過(guò)環(huán)評(píng)審核,至少需要5年時(shí)間,而且空氣質(zhì)量、電力供應(yīng)都是問(wèn)題。

  另外臺(tái)灣對(duì)于大陸的工藝輸出也一直是N-1政策,即最高輸出第二新的工藝。如果臺(tái)積電轉(zhuǎn)到美國(guó)投資,對(duì)于大陸方面肯定也會(huì)加強(qiáng)投資和輸出力度。

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  至于3nm工藝本身,由于還處于前期研究階段,臺(tái)積電沒(méi)什么可透露的,只說(shuō)正在與設(shè)備廠商、材料供應(yīng)商共同研究技術(shù)途徑,暫定2022年左右量產(chǎn)。

  按照行業(yè)規(guī)劃,極紫外光刻到時(shí)候應(yīng)該可以上馬了,450mm大晶圓則很難說(shuō),最近一直沒(méi)什么進(jìn)展。

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